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Growth stress evolution in HfO2/SiO2 multilayers
  • ISSN号：0040-6090
  • 期刊名称：Thin Solid Films
  • 时间：0
  • 页码：70-73
  • 相关项目：光学镀膜元件的应力-面形演化及其控制技术
作者： 李静平|方明|贺洪波|邵建达|范正修|李朝阳|
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