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非晶壳层Si_xN/Si_yC包覆硅量子点的微结构表征(英文)
  • 期刊名称:纳米科技
  • 时间:0
  • 页码:70-75
  • 相关项目:应变硅/硅锗微细特征单元结构失稳及应变弛豫研究
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