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定点激光反射热循环测量铜膜应力及屈服强度
  • ISSN号：1001-4012
  • 期刊名称：《理化检验：物理分册》
  • 时间：0
  • 分类：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构：西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目59571031.
作者： 张建民, 徐可为
关键词： 铜膜, 屈服, 应力, 激光, 热循环测量法, 集成电路
中文摘要：

采用定点激光反射热循环测量基片上薄膜应力的新方法，测定了硅片（１００）上四种厚度（０．２４μｍ，０．５３μｍ，１．２８μｍ，３．４２μｍ）磁控溅射纯铜膜应力随温度（２０～３００℃的变化，发现屈服强度与膜厚倒数成线性关系。

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期刊信息
  • 《理化检验：物理分册》
  • 主管单位:上海科学院
  • 主办单位:上海材料研究所
  • 主编：李和平
  • 地址：上海市邯郸路99号
  • 邮编：200347
  • 邮箱：pt@mat-test.com
  • 电话：021-65556775-361 021-65547443
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-4012
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1338/TB
  • 邮发代号:4-183
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）
  • 被引量:6057