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Multiple centimetre-long fluidic-channels with smooth and vertical sidewall fabricated by novel NIL
ISSN号:0167-9317
期刊名称:Microelectronic Engineering
时间:2012.10
页码:720-724
相关项目:用于微流体环境中超声波基因递送的MEMS器件研究
作者:
Wang, Xudi|Tian, Yangchao|You, Hui|Fu, Shaojun|
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