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Multiple centimetre-long fluidic-channels with smooth and vertical sidewall fabricated by novel NIL
  • ISSN号:0167-9317
  • 期刊名称:Microelectronic Engineering
  • 时间:2012.10
  • 页码:720-724
  • 相关项目:用于微流体环境中超声波基因递送的MEMS器件研究
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