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高电荷态ECR等离子体中约束磁场对热电子的影响
ISSN号:0963-0252
期刊名称:Plasma Sources Science & Technology
时间:0
页码:301-317
语言:英文
相关项目:基于ECR等离子体的13.5nm极紫外光源的研制
作者:
赵环昱|
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