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Fabrication of size controllable SU-8 nanochannels using nanoimprint lithography and low-pressure th
  • ISSN号:1750-0443
  • 期刊名称:Micro & Nano Letters
  • 时间:2014.2
  • 页码:105-108
  • 相关项目:用于微流体环境中超声波基因递送的MEMS器件研究
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