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Rigid model and flexible model of a novel stick-slip driving stage
  • 期刊名称:Int. J. Mechatronics and Automation2012
  • 时间:2012.6.6
  • 页码:185-194
  • 相关项目:纳米结构与器件跨尺度三维操纵与互连的基础研究
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