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A MEMS micromirror driven by electrostatic force
  • ISSN号：0304-3886
  • 期刊名称：JOURNAL OF ELECTROSTATICS
  • 时间：0
  • 页码：237-242
  • 相关项目：自适应光学系统中MEMS变形镜的空间和时间特性研究
作者： Hu, Fangrong|Yao, Jun|Qiu, Chuankai|Ren, Hao|
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