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Study of nanospheres lithography technology with super-lens for fabricating nano holes
  • ISSN号:0021-8979
  • 期刊名称:JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
  • 时间:2013.5.5
  • 页码:1-5
  • 相关项目:一种OLED彩色滤波器超分辨纳米孔阵列光刻技术
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