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Study of nanospheres lithography technology with super-lens for fabricating nano holes
ISSN号:0021-8979
期刊名称:JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
时间:2013.5.5
页码:1-5
相关项目:一种OLED彩色滤波器超分辨纳米孔阵列光刻技术
作者:
Li, Shuhong|Yang, Zheng|Zhang, Zhiyou|Gao, Fuhua|Du, Jinglei|Zhang, Sijie|
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