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在Si衬底上不同衬底温度预沉积Ge对于生长SiC薄膜的影响
  • 期刊名称：真空科学与技术学报，Vol.29, N0.4 2009（已接受，待发表）
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  • 相关项目：SiC异构多型体薄膜的SSMBE制备及其结构的同步辐射表征
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SiC异构多型体薄膜的SSMBE制备及其结构的同步辐射表征
期刊论文 27
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