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声表延迟线仿真算法与版图的自动化设计
  • ISSN号：1004-2474
  • 期刊名称：《压电与声光》
  • 时间：0
  • 分类：TN65[电子电信—电路与系统] TP319[自动化与计算机技术—计算机软件与理论;自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
  • 作者机构：[1]中国科学院微电子研究所,北京100029
  • 相关基金：“百人计划”基金资助项目; 自然科学基金资助项目（60676001 60706023 90401002 90607022）; “九七三”计划基金资助项目（2006CB604904 2009CB939703）
作者： 李昊峰[1], 贾锐[1], 李冬梅[1], 刘明[1], 李维龙[1], 陈晨[1], 朱晨昕[1]
关键词： 声表面波, 延迟线, MATLAB仿真, 版图, surface acoustic wave, delay lines, MATLAB simulation, masks
中文摘要：

针对单向单相换能器（SPUDT）结构声表面波延迟线,编写了一款进行分析和制作的软件。分析过程为把SPUDT结构换能器看成若干叉指单元组成的网络,根据耦合模（COM）理论并结合等效电路模型得到换能器的混合P矩阵,进而得到器件的频响。同时制作了友好的人机交互界面,能对所设计的器件参数进行修改,并自动生成版图。模拟计算与试验测试结果相符。

英文摘要：

A platform for simulation of SPUDT SAW delay lines was designed and analyzed by MATLAB.This transducer could be considered as the networks of connection of some units of IDTs and the loss of device could be therefore effectively reduced.Based on the Coupling of Modes （COM） theory and equivalent circuit modal,the mixed matrix（P matrix） of the transducers was deduced,and further,the response of the delay lines could be obtained.User-friendly interface was also made by MATLAB in which the designer could adjust parameters and generate the hard mask of the fingers for photolithograph.The theoretical simulation is found to agree with the experimental results.

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期刊信息
  • 《压电与声光》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电科第二十六研究所
  • 主编：胡少勤
  • 地址：重庆南坪花园路14号26所
  • 邮编：400060
  • 邮箱：ydsgsipat@163.com
  • 电话：023-62919570
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-2474
  • 国内统一刊号：ISSN：50-1091/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1984年获电子部优秀科技期刊三等奖,1990年获电子行业优秀科技期刊三等奖,1990年获首届机电部优秀科技期刊二等奖,1990年获首届四川省优秀科技期刊二等奖,1991年获首届国防科技工委优秀科技期刊二等奖,1992年获第二届机电部优秀科技期刊三等奖,1992年获第二届四川省优秀科技期刊二等奖,1993年获第一届全国优秀科技期刊三等奖,1995年获首届四川省宣传部、省新闻出版局、省期刊...,1995年获四川省第三届优秀科技期刊二等奖,1995-1996年获信息产业部电子优秀科
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
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