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A Thermoelectric Power Sensor and Its Package Based on MEMS Technology
  • ISSN号:1057-7157
  • 期刊名称:Journal of Microelectromechanical Systems
  • 时间:2012.2.2
  • 页码:121-131
  • 相关项目:基于MEMS功率传感器的无线接收式微波频率检测集成系统的设计理论和实现方法的研究
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