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Subwavelength lithography using metallic grating waveguide heterostructure
  • ISSN号：0947-8396
  • 期刊名称：Applied Physics A-Materials Science & Processi
  • 时间：2012.4
  • 页码：123-126
  • 相关项目：亚波长金属波导结构表面等离子体超分辨光刻研究
作者： Yang, Xuefeng|Li, Weibin|Zhang, Dao Hua|
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