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横向场激励的BT-切石英传感器研究
  • ISSN号:1004-2474
  • 期刊名称:《压电与声光》
  • 时间:0
  • 分类:TN384[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]清华大学精密仪器与机械学系,北京100084, [2]深圳清华大学研究院信息与光机电研究所,广东深圳518057
  • 相关基金:基金项目:国家自然科学基金资助项目(60571014)
中文摘要:

研究了BT-切石英横向场激励(LFE)的耦合特性、声波相速度及其传感器在液体中的敏感性能。理论计算表明,当横向场方向与晶轴z方向垂直时,b模式的LFE耦合系数达到最大值6.68%,a和c模式的LFE耦合系数为0,此时激发的声波相速度也达到最大值5079m/s。实验发现,器件在液体中,具有较高的机械及电特性灵敏度。结果表明,在b一模式LFE耦合系数为0的方向上,器件实际上工作在伪横向场激励模式。

英文摘要:

A BT- cut quartz sensor excited by lateral electric field was studied. Its lateral field excitation(LFE) coupling factor and acoustic wave phase velocity were calculated and its performance for sensing application in liquid was examined. It is found that when the lateral field direction is normal to the crystallographic x-axis, b-mode lateral coupling factor reaches its maximum of 6. 68% while the a- and c-mode LFE coupling factors are zero,and bmode acoustic wave phase velocity is the maximum of 5 079 m/s. Experiments have shown that BT- cut devices have superior mechanical and electric properties in liquid environment. The study suggests that with the b- mode lateral coupling factor being zero, the device is in fact operating in a pseudo- LFE mode.

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期刊信息
  • 《压电与声光》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:中国电科第二十六研究所
  • 主编:胡少勤
  • 地址:重庆南坪花园路14号26所
  • 邮编:400060
  • 邮箱:ydsgsipat@163.com
  • 电话:023-62919570
  • 国际标准刊号:ISSN:1004-2474
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1091/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 1984年获电子部优秀科技期刊三等奖,1990年获电子行业优秀科技期刊三等奖,1990年获首届机电部优秀科技期刊二等奖,1990年获首届四川省优秀科技期刊二等奖,1991年获首届国防科技工委优秀科技期刊二等奖,1992年获第二届机电部优秀科技期刊三等奖,1992年获第二届四川省优秀科技期刊二等奖,1993年获第一届全国优秀科技期刊三等奖,1995年获首届四川省宣传部、省新闻出版局、省期刊...,1995年获四川省第三届优秀科技期刊二等奖,1995-1996年获信息产业部电子优秀科
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
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