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Development of a self-packaged 2D MEMS thermal wind sensor for low power applications
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：2015.7.14
  • 页码：-
  • 相关项目：可同时测量磁场幅度和方向的微机械磁场传感器基础研究
作者： 朱燕青 黄庆安|
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