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半导体硅熔体的有效(磁)黏度
  • ISSN号:1000-3290
  • 期刊名称:《物理学报》
  • 时间:0
  • 分类:TN304.12[电子电信—物理电子学] TS101.921[轻工技术与工程—纺织工程;轻工技术与工程—纺织科学与工程]
  • 作者机构:[1]河北工业大学信息功能材料研究所,天津300130
  • 相关基金:河北省自然科学基金(批准号:503054),国家自然科学基金(批准号:50372016)和河北工业大学博士启动基金和教育部科学研究重点项目(批准号:205017)资助的课题.
中文摘要:

用钕铁硼(NdFeB)永磁材料构建“魔环”结构的永磁体,向直拉硅生长的熔体所在空间引入磁场,采用回转振荡法测量不同磁场强度下硅熔体的有效黏度(磁黏度).在温度一定时,测得的磁黏度随着磁场强度的增加而增加,二者呈抛物线关系.熔硅温度升高,磁场影响加剧.1490—1610℃温度区间内,磁黏度有异常变化.当引入磁场强度为0·068T时,熔硅有效黏度比原黏度增加2—3个数量级,证明引入磁场是硅单晶大直径生长时,抑制熔硅热对流的有效手段.

英文摘要:

A magnetic field generated by a magic ring was applied to the space containing the silicon melt, and the effective viscosities of silicon melt were measured by the method of rotary vibration. The magic ring was constructed by permanent magnets made of NdFeB permanent-magnet material. The results showed that, at certain temperature, the effective viscosity increased with the increase of magnetic field intensity, and they are parabolically related. The magnet field had stronger effect when the silicon melt temperature increased, which was indicated by a more warped up parabola. In the range of 1490 to 1610℃, the viscosity had an extraordinary fluctuation which indicated a structure change in the silicon-melt. The value of silicon melt viscosity increased by 2—3 orders of magnitude when the magnetic field reached 0.068T. The results indicated that applying a magnetic field to the silicon melt space is an effective way to suppress thermal convection during the growth of large diameter single crystal silicon.

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期刊信息
  • 《物理学报》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会 中国科学院物理研究所
  • 主编:欧阳钟灿
  • 地址:北京603信箱(中国科学院物理研究所)
  • 邮编:100190
  • 邮箱:apsoffice@iphy.ac.cn
  • 电话:010-82649026
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-3290
  • 国内统一刊号:ISSN:11-1958/O4
  • 邮发代号:2-425
  • 获奖情况:
  • 1999年首届国家期刊奖,2000年中科院优秀期刊特等奖,2001年科技期刊最高方阵队双高期刊居中国期刊第12位
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国科学引文索引(扩展库),英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:49876