位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
沉积温度对等离子增强化学气相沉积TiN薄膜内应力的影响
  • ISSN号：1672-7126
  • 期刊名称：《真空科学与技术学报》
  • 时间：0
  • 分类：O484.2[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]西安交通大学, [2]青岛化工学院
  • 相关基金：国家自然科学基金 59001450
作者： 陈瑾[1], 徐可为[1], 高润生[1], 何家文[1], 赵程[2], 李世直[2]
关键词： 气相沉积, 氮化钛, 薄膜, 应力
中文摘要：

实验表明,高速钢基体上的PECV-TiN薄膜处于压应力状态,其绝对值随沉积温度的升高而降低,反映微观组织状态及其不均匀性的衍射峰半高宽亦呈下降趋势,但晶体的择优取向受沉积温度影响较小。分析认为PECVD-TiN薄膜受离子轰击的影响较大,正常沉积温度下其内应力以本征应力为主,大小与薄膜的显微组织关系密切。较高温度下,热应力占主导地位,其大小主要决定于膜、基的热膨胀系数之差。更多还原

同期刊论文项目
气相沉积陶瓷薄膜的内应力及其对材料表层强度的影响
期刊论文 2
同项目期刊论文
沉积方式与基体材料对TiN薄膜内应力的影响
期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国真空学会
  • 主编：李德杰
  • 地址：北京朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
  • 邮编：100022
  • 邮箱：cvs@chinesevacuum.com
  • 电话：010-58206280
  • 国际标准刊号：ISSN：1672-7126
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5177/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:4421