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氮化硅薄膜的应力与性能控制
  • 期刊名称：电子器件
  • 时间：0
  • 页码：407-411
  • 语言：中文
  • 相关项目：声表面波有毒气体传感器阵列理论与技术
作者： 周东|王晓梅|王志|许向东|蒋亚东|
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声表面波有毒气体传感器阵列理论与技术
期刊论文 75 会议论文 26 获奖 1 专利 22 著作 1
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