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准分子激光加工PMMA 生物芯片片
  • 期刊名称：微纳电子技术，2006，1，p47-49
  • 时间：0
  • 相关项目：飞秒激光功能微部件加工技术研究
作者： 钱晓峰，陈涛，郭商
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飞秒激光功能微部件加工技术研究
期刊论文 72 会议论文 12
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