位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
Nitrogen ratio and RTA optimization on sputtered TiN/SiO2/Si electrolyte-insulatoresemiconductor str
  • ISSN号：0042-207X
  • 期刊名称：Vacuum
  • 时间：2015.8.5
  • 页码：113-117
  • 相关项目：纳米技术组装的新型光纤传感器原理与关键技术研究
作者： 任畅|Chia-Ming Yang|吕辰刚|
同期刊论文项目
纳米技术组装的新型光纤传感器原理与关键技术研究
期刊论文 4 会议论文 4
同项目期刊论文
Polarimetric heterodyning fiber laser sensor for directional acoustic signal measurement
Design Evaluation of DBR Fiber Laser Sensor for Directional Lateral Force Monitoring
基于DBR光纤激光传感器的超声与温度双参量测量研究