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Studies of local electric properties and annealing behaviors of thin Er2O3 film grown on Ge substrat
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:0
  • 页码:-
  • 相关项目:Ge衬底上氧化铒、氧化铥高K栅介质材料的制备及物理特性研究
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