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氧化铟微球的制备及其对异丙醇的气敏特性
  • ISSN号:1671-4776
  • 期刊名称:《微纳电子技术》
  • 时间:0
  • 分类:TB381[一般工业技术—材料科学与工程]
  • 作者机构:太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心,太原030024
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(51205274); 山西省人才专项资助项目(2016[36]); 山西省自然基金资助项目(2016[39]); 山西省高校科技创新研究项目(2016[37]); 山西省归国留学择优资助项目([2014]95); 山西省归国留学基金资助项目(2013-035); 山西省科技重大专项资助项目(20121101004); 山西省高等学校特色重点学科建设项目(晋教财[2012]45号)
中文摘要:

采用水热法合成了氧化铟(In_2O_3)微球结构。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In_2O_3样品的晶相、元素种类和微观形貌。测试结果表明:合成的In_2O_3为空心的微球结构,且其平均直径约1μm。同时,制备了基于In_2O_3的气体传感器,并对异丙醇的气敏特性进行研究。实验结果表明:在最佳工作温度(300℃)条件下,该气体传感器对体积分数为10-4异丙醇气体的响应可达10.3,响应时间和恢复时间分别为2 s和7 s,且最低检测极限为5×10-7。最后,讨论了In_2O_3材料对异丙醇的气敏机理。

英文摘要:

Indium oxide(In_2O_3)microsphere structures were synthesized by the hydrothermal method.The X-ray diffraction(XRD)and scanning electron microscope(SEM)were introduced to investigate and analyze the crystal phase,element composition and microtopography of the asprepared In_2O_3 samples.The results show that the mean diameter of the synthesized In_2O_3 hollow microsphere structures is about 1μm.Meanwhile,the In_2O_3-based gas sensor was prepared,and the gas sensing experiments were conducted on the In_2O_3 hollow microsphere for isopropanol detection.The measured results exhibit that the response of the gas sensor to isopropanol can reach to 10.3 with the volume fraction of 10-4 under the optimum operating temperature(300 ℃).Moreover,the response time and recovery time are 2 s and 7 s,and the minimal detection limit is as low as 5×10-7.Finally,the gas sensing mechanism of In_2O_3 materials to isopropanol was discussed.

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期刊信息
  • 《微纳电子技术》
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  • 主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
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  • 国际标准刊号:ISSN:1671-4776
  • 国内统一刊号:ISSN:13-1314/TN
  • 邮发代号:18-60
  • 获奖情况:
  • 2002-2003和2003-2004年度,均获信息产业部电子科...,2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术...,中国学术期刊执行(光盘版)检索与评价数据规范优...,2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊...
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
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