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A study of patterning and annealing effects on the performance of magnetic planar inductor
  • ISSN号：1071-1023
  • 期刊名称：Journal of Vacuum Science & Technology B
  • 时间：0
  • 页码：1407-1411
  • 语言：英文
  • 相关项目：新型纳机电系统器件制作及机电耦合基础研究
作者： Sun, Hongfang|Zhu, Jing|Zhao, Jiahao|Wang, Li|Liu, Zewen|
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