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a-Si:H/SiO2多层膜晶化过程中的
  • 期刊名称：半导体学报 Vol.27 (2006) 76-78
  • 时间：0
  • 相关项目：基于量子效应的硅基光电信息材料的构筑原理与新技术
作者： 马忠元，韩培高，李伟，陈三，钱
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