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One-dimensional transverse superresolution achieved by three-zone dissymmetrical pupil filter
  • ISSN号：1004-4213
  • 期刊名称：Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica
  • 时间：0
  • 页码：2222-2226
  • 语言：英文
  • 相关项目：浸没式光刻中双折射偏振成像的机理研究
作者： 郭汉明|庄松林|郭舒文|
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浸没式光刻中双折射偏振成像的机理研究
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期刊信息
  • 《光子学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 西安光机所
  • 主编：侯洵
  • 地址：西安市高新区新型工业园信息大道17号47分箱
  • 邮编：710119
  • 邮箱：photo@opt.cn
  • 电话：029-88887564
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-4213
  • 国内统一刊号：ISSN：61-1235/O4
  • 邮发代号:52-105
  • 获奖情况:
  • 中文核心期刊,曾获中国光学学会先进期刊奖,中国科学院优秀期刊三等奖,陕西省国防期刊一等奖等
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,波兰哥白尼索引,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:20700