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用于衍射光栅刻划的超精密金刚石
  • 期刊名称：微细加工技术，2006,64(4): 12
  • 时间：0
  • 相关项目：机械刻划光栅设计理论与刻划参数反演方法研究
作者： 李英海，巴音贺希格，齐向东
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机械刻划光栅设计理论与刻划参数反演方法研究
期刊论文 29
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