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PCVD 制备新型Ti-Si-C-N纳米复合
  • 期刊名称：金属学报,2005,41:985-988
  • 时间：0
  • 相关项目：(TiAl)N/Si3N4纳米复合超硬薄膜的稳定性研究
作者： 郭岩 畅庚榕 马胜利 徐可为
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