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基于Web的键合图法MEMS系统级多能量域仿真平台
  • 期刊名称:系统仿真学报
  • 时间:0
  • 作者或编辑:3448
  • 第一作者所属机构:西安交通大学
  • 页码:Vol.17, No.2, pp341-346
  • 语言:中文
  • 相关项目:DFX驱动的微器件e-CAD工具的研究
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