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Effect of deposited angle on structure and surface morphology of fluorocarbon films deposited by Pul
  • ISSN号:1660-9336
  • 期刊名称:Applied Mechanics and Materials
  • 时间:2013
  • 页码:111-114
  • 相关项目:固体烧蚀型脉冲等离子体推力器放电烧蚀过程的理论与实验研究
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