直流磁控溅射制备TiNxOy薄膜及其性能研究
- ISSN号:1002-0322
- 期刊名称:真空
- 时间:0
- 页码:60-63
- 语言:中文
- 相关项目:反钙钛矿结构M3XN(C)材料的反常晶格热膨胀,及其与磁相变、电输运性质的关联
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期刊信息
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- 主办单位:中国机械工业集团公司有限公司 沈阳真空技术研究所
- 主编:李玉英
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- 国际标准刊号:ISSN:1002-0322
- 国内统一刊号:ISSN:21-1174/TB
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- 工程技术类核心期刊,中国期刊网、光盘国家工程中心用刊
- 国内外数据库收录:
- 美国化学文摘(网络版),中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2000版)