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用蒙特卡罗方法研究X射线在金-硅-金界面的剂量增强效应
  • ISSN号:1000-3819
  • 期刊名称:《固体电子学研究与进展》
  • 时间:0
  • 分类:O434.1[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构:内蒙古民族大学物理与电子信息学院,内蒙古通辽028043
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(11265009); 内蒙古民族大学科学研究基金项目(NMDYB15022)
中文摘要:

用蒙特卡罗方法(MCNP)计算不同能量的X射线在Au-Si-Au界面处产生的剂量增强系数(DEF)与金(Au)和硅(Si)厚度的关系.结果表明,界面下的DEF随Au厚度的增加而增大,随Si厚度的增加而减小.同时模拟了单层Au(Au-Si)与双层Au(Au-Si-Au)结构在Si一侧的DEF,对于结构Au-Si-Au,界面下产生的剂量增强效应更明显.

英文摘要:

The dependence of DEF on energy at Au-Si-Au interface for different thickness of Au and Si is simulated by using Monte Carlo method. The results show that the dose enhancement factor will increase with the increasing of the thickness of Au and decrease with the increasing of the thickness of Si.While simulating the DEF at Au-Si interface and Au-Si-Au interface,the dose enhancement effect at Au-Si-Au interfac is greater.

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期刊信息
  • 《固体电子学研究与进展》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国电子科技集团公司
  • 主办单位:南京电子器件研究所
  • 主编:杨乃彬
  • 地址:南京中山东路524号(南京160信箱43分箱)
  • 邮编:210016
  • 邮箱:gtdz@chinajournal.net.cn
  • 电话:025-86858161
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-3819
  • 国内统一刊号:ISSN:32-1110/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵双效期刊,江苏省第六届优秀期刊,工信部09-10年期刊编辑质量优秀奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:2461