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Fluorinated nanoporous SiO2 films with ultra-low dielectric constant
  • ISSN号:0022-3093
  • 期刊名称:Journal of Non-Crystalline Solids
  • 时间:0
  • 页码:3867-3870
  • 语言:英文
  • 相关项目:TM-SiGeC体系的微结构、磁性与输运性质
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