由厄米-高斯光束理论和空间相干性定理出发,研究了大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)三角形列阵器件的光束质量和空间相干特性。采用二阶距法和空间相干度积分法得到980 nm波段VCSEL三角列阵器件的远场发散角和空间相干度,并讨论了列阵器件单元间距对其远场特性和空间相干特性的影响。实验结果表明:当三角列阵单元孔径为150μm时,随着列阵单元间距由200μm增大到300μm,列阵器件的远场发散角由9.5°增加到12.5°,而其空间相干度由0.719减小到0.526。在相同注入电流条件下,3种列阵器件的出光功率基本相同。