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Polarimetric interferometer for measuring nonlinearity error of heterodyne interferometric displacem
ISSN号:1671-7694
期刊名称:Chinese Optics Letters
时间:2013.6.6
页码:-
相关项目:多轴超精运动系统的耦合动力学行为与测量误差模型研究
作者:
Su’an Xu|Luc Chassagne|Suat Topcu|Le Chen|Jian Sun|Tianhong Yan|
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期刊信息
《中国光学快报:英文版》
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主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
主编:徐至展
地址:上海市800-211信箱光学期刊联合编辑部
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国际标准刊号:ISSN:1671-7694
国内统一刊号:ISSN:31-1890/O4
邮发代号:4-644
获奖情况:
国内外数据库收录:
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被引量:403