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Effect of microscale gaseous thermal conduction on the thermal behavior of a buckled microbridge
  • ISSN号：0964-1726
  • 期刊名称：Smart Materials & Structures
  • 时间：0
  • 页码：215-227
  • 语言：英文
  • 相关项目：硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究
作者： Zhang, Fengtian|Li, Jinfeng|Tang, Zhenan|Wang, Jiaqi|
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