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基于聚酰亚胺振动膜的硅微电容式
  • 期刊名称：声学技术，Vol.24，p561-563，2005，(EI)
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 郝震宏*，李剑成，乔东海
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期刊论文 75 会议论文 11
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