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AFM探针重定位系统H∞控制器设计与分析
  • ISSN号：1004-731X
  • 期刊名称：《系统仿真学报》
  • 时间：0
  • 分类：TH742[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构：[1]上海大学机电工程与自动化学院
  • 相关基金：上海科委项目(0852nm06800);国家自然科学基金(60774059)
作者： 孙鑫[1], 费敏锐[1], 程传东[1]
关键词： H∞控制, 原子力显微镜, 重定位, 纳米
中文摘要：

分析了纳米重定位系统的常用重定位技术,建立了探针悬臂偏移量模型,探针针尖偏差前馈补偿和压电陶瓷H∞控制的模型。通过对其标准化,求出控制器K,并对其合理性进行分析。最后,进行计算机仿真,结果表明,所设计的系统具有良好的跟踪、重定位能力。

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期刊信息
  • 《系统仿真学报》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国航天科工集团公司
  • 主办单位:北京仿真中心 中国仿真学会
  • 主编：李伯虎
  • 地址：北京市海淀区永定路50号院
  • 邮编：100039
  • 邮箱：simu-xb@vip.sina.com
  • 电话：010-88527147
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-731X
  • 国内统一刊号：ISSN：11-3092/V
  • 邮发代号:82-9
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:51729