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微波电子回旋共振法沉积的非晶碳
  • 期刊名称：功能材料 （录用）
  • 时间：0
  • 相关项目：多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
作者： 贺洁 辛煜 叶超 宁兆元
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期刊论文 26
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