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基于MEMS膜片的光纤声传感器分析
  • ISSN号:0258-7025
  • 期刊名称:《中国激光》
  • 时间:0
  • 分类:TN918.13[电子电信—通信与信息系统;电子电信—信息与通信工程]
  • 作者机构:[1]海军工程大学电子工程学院,湖北武汉430033
  • 相关基金:国家自然科学基金(51109217)
中文摘要:

提出了一种新的应用于低频声传感领域的强度调制型光纤传感器理论模型。该模型使用了单模光纤来传输和接收光信号,使用了C—lens光学透镜实现光准直作用,讨论了光在准直透镜中的传播规律,利用准直器耦合损耗相对角度变化最为敏感的特征实现光强调制。强度型光纤传感器采用微电机系统(MEMS)结构的压力振动膜片拾取振动位移,通过分析施加在膜片上压力的变化得到影响光纤低频声传感器灵敏度的相关参数。仿真结果表明,选择合适的参数可以使传感器的灵敏度较传统方法有量级的提高,实验结果也说明了理论建模的可行性。

英文摘要:

To be used in sound sensor field, a new intensity modulated optic microphone theory is Lntroduced. Here single-mode optical fiber and single fiber C-lens are used to realize light intensity modulation; the system also contains micro-electro-mechanical system (MEMS) membrane to be compatible with vibration displacement. Simulation results show that the proper choice of parameters like membrane size can make the sensitivity of sensor improve in orders of magnitude than traditional light intensity modulation methods, and the experimental results also show that the theoretical simulation is persuasive.

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期刊信息
  • 《中国激光》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国光学学会 中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 主编:周炳琨
  • 地址:上海市嘉定区清河路390号
  • 邮编:201800
  • 邮箱:cjl@siom.ac.cn
  • 电话:021-69917051
  • 国际标准刊号:ISSN:0258-7025
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1339/TN
  • 邮发代号:4-201
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,物理学类核心期刊,无线电子学·电信技术类核心期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:26849