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Microstructure formation in a thick polymer by electrostatic-induced lithography
  • ISSN号:0960-1317
  • 期刊名称:Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间:0
  • 页码:1-8
  • 相关项目:新型纳米结构的静电场诱导成形原理与工艺研究
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