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Micro-patterning of PZT thick film by lift-off using ZnO as a sacrificial layer
  • ISSN号：0272-8842
  • 期刊名称：Ceramics International
  • 时间：2015
  • 页码：7325-7328
  • 相关项目：MEMS压电矢量水听器
作者： Wei Ren|Chenghao Wang|Mengwei Liu|Guoxiang Fan|
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期刊论文 15
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