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基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制
  • 期刊名称：仪器仪表学报，2006，27（6增):1065-1066。(EI)
  • 时间：0
  • 分类：TH7-55[机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080, 中国科学院研究生院,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080, 中国科学院研究生院,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080, 中国科学院研究生院,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 相关基金：国家自然科学基金(90307014)
  • 相关项目：生物微传感集成化芯片系统基础研究
作者： 汪祖民，孙红光，韩泾鸿，边超，
关键词： 离子敏场效应管, 聚吡咯, 敏感膜, 集成化芯片系统
中文摘要：

研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC).其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(Polypyrrole,聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度.

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