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基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感
  • 期刊名称：压电与声光，28(3): 335-338，(2006)
  • 时间：0
  • 相关项目：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
作者： 佟建华*，刘梦伟，崔岩， 王兢，
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适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
期刊论文 75 会议论文 11
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