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大尺寸四硼酸锂压电晶体转向生长
  • ISSN号:0454-5648
  • 期刊名称:《硅酸盐学报》
  • 时间:0
  • 分类:O482[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]上海应用技术大学材料科学与工程学院晶体生长研究所,上海201418, [2]中国科学院上海硅酸盐研究所,上海200050
  • 相关基金:国家自然科学基金项目(51472263).
中文摘要:

四硼酸锂(Li2B4O7,LBO)晶体是一种性能优异的压电基片材料,坩埚下降法生长的直径为76mm LBO晶体已成功应用于声表面波(SAW)和体波(BW)器件。由于硼酸盐熔体粘度大、晶体易开裂,生长直径为102mm的LBO晶体产业化还有很大难度。本工作根据坩埚下降法技术特点,提出了转向生长LBO晶体的工艺方案,成功生长出60mm×110mm×120mm板状晶体。晶体沿[001]方向快速生长,侧面主面为(110)。生长的板状晶体经准确定向、加工后即可获得高度60mm、直径为102mm(4in)的[110]取向LBO晶体,生长速率和晶体产率较传统方法都有显著提高。

英文摘要:

Lithium tetraborate (Li2B4O7: LBO) single crystal is a superior substrate material for surface acoustic wave (SAW) and body acoustic wave (BAW) devices. LBO crystals with the diameter of 76 mm have been mass-produced by the modified vertical Bridgman method. However, the yield is rather low for LBO crystals with the diameter of 102 mm due to high viscosity of its melt and cracking. In this paper, LBO crystals with the diameter of 102 mm were prepared by an alternative method based on the characteristic feature of the vertical Bridgman method. LBO block with the sizes of 60 mm× 110 mm×120 mm was grown along [001] direction with (110) main face, and the as-grown block was cut and ground to a [110]-oriented LBO boule with the diameter of 102 mm. The growth rate and the yield are improved.

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期刊信息
  • 《硅酸盐学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会
  • 主编:南策文
  • 地址:北京海淀区三里河路11号
  • 邮编:100831
  • 邮箱:jccsoc@sina.com
  • 电话:010-57811253 57811254
  • 国际标准刊号:ISSN:0454-5648
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2310/TQ
  • 邮发代号:2-695
  • 获奖情况:
  • EI Compendex、CA、SA、PI收录期刊,全国核心期刊,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:27713