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大直径单晶硅垂直磁场下的数值模拟
  • ISSN号:0254-0037
  • 期刊名称:《北京工业大学学报》
  • 时间:0
  • 分类:O472[理学—半导体物理;理学—物理]
  • 作者机构:[1]北京工业大学机械工程与应用电子技术学院, [2]北京
  • 相关基金:国家自然科学基金资助(10472003);; 北京市自然科学基金资助(3042002);; 北京工业大学博士启动基金资助(127-00227)
中文摘要:

为了研究磁场对晶体生长界面的形状、温度、氧的质量分数分布等的影响,本文采用低雷诺数的κ-ε湍流模型,对直径为200 mm、哈特曼数分别为0、500、1000和2000的大直径单晶硅进行了数值模拟.结果表明,垂直磁场能抑制熔体中的径向对流,并在一定程度上使子午面的流动减弱,氧的轴向减小,等温线变得更为平坦.当磁场强度过高时,熔体中氧的轴向增加,湍流程度也增加.

英文摘要:

It is known that the shape of the growth interface, the temperature, oxygen concentration distribution are sensitive to the magnetic field strength. In this paper, a low Reynolds number model was used for the simulation of a 200 mm large diameter silicon crystal growth under a vertical magnetic field with different strength, the Hartmann number is equal to 0, 500, 1 000 and 2 000 respectively. Numerical results showed that a vertical magnetic field can effectively reduce the strength of the flow at the radi...

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期刊信息
  • 《北京工业大学学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:北京市教委
  • 主办单位:北京工业大学
  • 主编:卢振洋
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  • 邮编:100124
  • 邮箱:xuebao@bjut.edu.cn
  • 电话:010-67392535
  • 国际标准刊号:ISSN:0254-0037
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2286/T
  • 邮发代号:2-86
  • 获奖情况:
  • 中国高等学校自然科学学报优秀学报二等奖,北京市优秀期刊,华北5省市优秀期刊,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),美国数学评论(网络版),德国数学文摘,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),中国北大核心期刊(2000版)
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