位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
碳氟感应耦合等离子体的SiO2介质
  • 期刊名称：真空科学与技术学报 （录用）
  • 时间：0
  • 相关项目：多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
作者： 虞一青 辛煜 宁兆元
同期刊论文项目
多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
期刊论文 26
同项目期刊论文
平板型感应耦合等离子体源的线圈
多源感应耦合等离子体的产生及等
Optical properties of fluorina
A study on optical emission of
Effect of F- and CH-doped on d
Infrared and optical propertie
微波电子回旋共振法沉积的非晶碳
Langmuir probe measurements in
Study of effect of H2 addition
The structural and dielectric
ECR-CVD方法生长a-SiNx:H薄膜的
C=C双键对氟化非晶碳薄膜I-V特性
Si-OH基团对SiCOH低k薄膜性能的
电容耦合的抑制对感应耦合等离子
Effect of NH3 flow rate on gro
Effect of Si-OH group on chara
微波电子回旋共振法沉积的非晶碳化硅薄膜结构和性能研究
交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性
碳氟感应耦合等离子体的SiO2介质刻蚀的研究
多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断
平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响
微等离子体及其应用
使用微感应耦合等离子体射流源高速沉积类金刚石碳膜