用超音速等离子喷涂技术制备了NiCrBSi涂层,并对涂层的组织性能进行了综合分析.用扫描电镜和能谱仪分析了涂层的内部组织,用纳米压痕法测试了硬度和弹性模量,用拉伸试验法测试了涂层与基体的结合强度,用X射线应力仪测定了涂层沿厚度方向的残余应力的分布.结果表明,涂层内部比较均匀,具有较低的孔隙率和氧化物含量,涂层的纳米显微硬度达到15 GPa,纳米弹性模量达到200 GPa,涂层与基体的结合强度接近50 MPa,涂层具有很好的耐磨性和优异的力学性能.涂层内部分布着拉应力状态的残余应力,其随着距离涂层顶部距离的增加而逐渐降低.