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基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究
  • ISSN号：1002-1582
  • 期刊名称：《光学技术》
  • 时间：0
  • 分类：TN06[电子电信—物理电子学] O439[机械工程—光学工程;理学—光学;理学—物理]
  • 作者机构：[1]上海理工大学光电信息工程与计算机学院,上海200093, [2]上海市计量测试技术研究院,上海201203
  • 相关基金：国家自然科学基金项目（60908021）; 国家质检总局科技计划项目（2011QK099）
作者： 李艳敏[1], 李孟超[1], 刘芳芳[2], 金丹[1], 张大伟[1], 庄松林[1]
关键词： 应用光学, 表面等离子体振荡, 在线纳米测量, 膜厚
中文摘要：

当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时,由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数,用CCD接收反射光分布信息并经过计算机分析处理,可实时、在线测量10nm内的铬、钛等金属膜厚,这类金属的复介电常数的实部相对虚部是较小的负数,故具有强反射锐峰及较平坦的吸收峰,该两峰点可作为膜厚测量依据的特征标记点,并通过建库进行曲线匹配而获得膜厚数值。实验结果表明,该方法的平均测量误差可低于0.4nm。

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期刊信息
  • 《光学技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:国防科工委
  • 主办单位:中国兵工学会 北京理工大学 中国北方光电工业总公司
  • 主编：夏阳
  • 地址：北京海淀中关村南大街5号
  • 邮编：100081
  • 邮箱：gxjs@bit.edu.cn
  • 电话：010-68913628 68948720
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-1582
  • 国内统一刊号：ISSN：11-1879/O4
  • 邮发代号:2-830
  • 获奖情况:
  • 中国兵器工业总公司优秀期刊一等奖,首届国防科工委优秀期刊二等奖,美国工程索引（EI）对本刊论文的收录率为87%
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:12855