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与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件研究
  • ISSN号：1002-0470
  • 期刊名称：《高技术通讯》
  • 时间：0
  • 分类：TN492[电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 作者机构：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,北京100083
  • 相关基金：863计划（2002AA312240,2003AA312040）和国家自然科学基金（60536030）资助项目.
作者： 刘海军[1], 高鹏[1], 陈弘达[1], 顾明[1], 许奇明[1], 刘金彬[1], 黄北举[1]
关键词： 集成电路工艺, 硅基光电子集成回路, 全硅光互连, integrated circuits processes, silicon optoelectronics integration （Si-OEIC）, all silicon optical interconnection
中文摘要：

着重介绍了与标准集成电路工艺兼容的硅基光学器件的最新研究进展,包括硅基光发射器、硅基光波导和调制器件、硅基光电探测器和接收机以及硅基光电子集成回路的工作原理、制作工艺和集成技术.与标准集成电路工艺兼容的硅基光电子集成回路能有效地解决电互连芯片内部串扰、带宽和能耗等问题,并能够充分利用现有成熟的集成电路工艺,实现大规模生产,具有广阔的实用前景.

英文摘要：

This paper introduces the latest advancement in silicon photonics compatible with standard integrated circuits processes, including the theory and design methods of silicon-based light emitting devices（LED）, optical waveguides and modulators, optical detectors and receivers, and silicon optoelectronics integration （Si-OEIC）. Silicon based optoelectronics integration compatible with standard integrated circuits processes could eliminate the influences of the crosstalk, bandwidth and power consumption in electrical interconnection. It has broad prospects in application.

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期刊信息
  • 《高技术通讯》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中华人民共和国科学科技部
  • 主办单位:中国科学技术信息研究所
  • 主编：赵志耘
  • 地址：北京市三里河路54号
  • 邮编：100045
  • 邮箱：hitech@istic.ac.cn
  • 电话：010-68514060 68598272
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-0470
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2770/N
  • 邮发代号:82-516
  • 获奖情况:
  • 《中国科学引文数据》刊源,《中国科技论文统计与分析》刊源
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,英国英国皇家化学学会文摘
  • 被引量:12178