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CeO_2掺杂ZnO厚膜的制备及气敏性能的研究
  • ISSN号:1001-9731
  • 期刊名称:《功能材料》
  • 时间:0
  • 分类:TP212[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:[1]河北工业大学微电子研究所,天津300130
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(60972106);国家重大科技专项资助项目(2009zx02308-004)
中文摘要:

采用sol-gel法制备ZnO及CeO2掺杂量分别为6%、7%和8%(质量分数)的ZnO粉体。通过XRD、SEM对材料的表面形貌和结构进行表征。研究了掺杂量对粉体制备的影响。采用静态配气法对该粉体制成的气敏元件进行测试,结果表明,在工作温度仅为85℃的条件下,7%(质量分数)CeO2-ZnO气敏传感器对饱和丙酮蒸汽的灵敏度最高达9634,响应时间为3s,恢复时间为2s;在较低浓度2.0×10-4时灵敏度也可达30左右。并对丙酮气敏传感器的气敏机理进行了进一步探讨。

英文摘要:

Undoped ZnO, and 6% ,7 %,8wt% CeO2-ZnO thick film were prepared by sol-gel method. Their mor- phology and structure were characterized by XRD and SEM. The concentration of dopant was analysized for the preparation effect of CeO2-ZnO. The gas sensors made by the nanopowder were tested by the method of static volumetric. The result indicated that the maximum sensitivity of CeO2-ZnO gas sensor to the saturated acetone vapors reached 9643, and the response and recovery times were 3 and 2s separately when the operation tempera- ture was 85℃. The sensitivity reached 30 in the low concentration (2.0×10^-4 ). The acetone-sensing mecha- nism of the thick film has been further studied.

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期刊信息
  • 《功能材料》
  • 北大核心期刊(2011版)
  • 主管单位:重庆材料研究院
  • 主办单位:重庆材料研究院
  • 主编:黄伯云
  • 地址:重庆北碚区蔡家工业园嘉德大道8号
  • 邮编:400707
  • 邮箱:gnclwb@126.com
  • 电话:023-68264739
  • 国际标准刊号:ISSN:1001-9731
  • 国内统一刊号:ISSN:50-1099/TH
  • 邮发代号:78-6
  • 获奖情况:
  • 2008、2011年连续获中国精品科技期刊,2010获重庆市双十佳期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:30166